Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе
Автор: Татаренко Николай, Кравченко Виктор
Жанр: Наноматериалы и нанотехнологии, Электроника, микроэлектроника, схемотехника, Справочная литература: прочее, Современные российские издания, Литература ХXI века (эпоха Глобализации экономики)
Год издания: 2006
Язык книги: русский
Описание книги «Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе»
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
Это произведение было опубликовано в 2006 году издательством Физматлит в городе Москва с присваиванием ISBN: 5-9221-0695-3. На нашем сайте возможно скачивать книгу «Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе» в формате fb2, html, txt, rtf, epub, mobi, pdf или прочитать online. Здесь так же можно почитать отзывы читателей этой книги, и увидеть их оценки. А в магазинах наших партнёров заказать электронную версию книги.